엘지디스플레이 사양서 번역(한국어 원본)Definition of acceptance test for Oerlikon Leybold Vacuum pumping systems for LG Display AMOLED M2 project
목적
엘지디스플레이(이하 LGD) M2 라인에 납품 예정인 올리콘 라이볼트 베큠사(이하 OLV)의 진공 펌프에 대해 Acceptance Test ( A/T ) 관한 세부 내용에 대해 정의한다. A/T 테스트는 LGD 와 OLV 양사간에 합의에 의해, LGD M2 라인에 설치 될 진공 펌프의 유틸리티 운영 비용에 관하여 점검하는 것으로 한다. 이는 OLV사가 LGD사에 TCO 항목으로 제출한 예측 비용과 실제 운영 시에 측정 결과를 비교 점검하기 위함이다..
본 A/T 테스트는 양산 시점 3개월 이후에 최초 시행 될 것이며, 양사의 합의에 따라 6개월 단위로 2년 후까지 시행 하기로 한다. 이 A/T 테스트는 LGD 와 OLV 가 함께 시행한다. LGD 는 약속된 정기 점검 시행 전에 OLV 에 통보하여 테스트 관련 엔지니어, 측정 기기, 일정이 준비 되도록 양사가 협조 한다.
LGD와 OLV 양사는 M2 라인에 납품 예정인 진공 펌프(총 192sets)에 대해 TCO 에 명기된 총 예측 비용이 총 실제 운영비보다 낮아야 함은 합의한다.
TCO 에 명기된 운영비 항목은 소비전력, 냉각수 비용, N2 & CDA퍼지 비용이다.
The total quantity 192 of all different pump sets is given by:
80 sets of RUTA WHU2500/DV650S
24 sets of RUTA WSU2001H/DV650S
58 sets of RUTA WH702/DV450S
30 sets of WH4400/DV650C (PECVD)
General technical requirements
테스트 점검 시 하기에 기술된 주요 운영 조건이 먼저 고려되어야 한다.
Power supply 440 V 3P, ( 입력 전원 440 V 3P)
Measurement of active consumed power using a power meter ( 적산전력계로 실제 전력 소비량 측정 )
Exhaust pressure < 1001 mbar ( 배기단 압력 < 1001 mbar )
Pumps have to be warmed up at minimum 3 hours before starting the test ( 측정 전 펌프는 최소 3시간 이상 운전되어 충분히 예열된 상태 )
Frequency converter controlled roots pump (WH702) need to operate at 60 Hz ( FC 를 사용하는 WH702는 제품은 60hz 로 운전 )
Each single pump set needs to be measured under real operating conditions (as operated in the process) for one hour ( 각 펌프 측정 시 실제 공정 운전 조건에서 1시간 동안 측정 )
Acceptance tests and correlation to forecast model
PECVD pump sets:
TCO 에 명기된 OLV 제품 모델 중 PECVD 공정에 사용되는 주 모델은 WH4400/DV650c 이다. PECVD 공정에서 TCO 에 명기된 측정 포인트는 펌프 흡기구 압력은 0.8 torr 이다. 실제 측정 시 동일한 흡기구 압력 상태에서 측정하여, 이를 공정 중 사용되는 펌프로 간주하여 측정하여 결과를 산출하고, 이를 TCO 예측 비용과 비교한다.
Load Lock pump sets:
Load Lock 공정에 사용되는 펌프의 경우 TCO 에 명기된 측정 point 는 두 곳이다. 최초 펌핑 시 가장 높은 소비전력 피크 값과 펌프 inlet 압력이 40mtorr 일 때의 값을 각각 공정 시간에 대비하여 20%, 80% 비율로 비용 환산하여 추산 예측하였다. 실제 A/T 테스트 점검 시 하기 그림에 표시된 것과 같이 실제 소비 전력 누적량을 실 운전시에 측정한다. 이 측정은 최소 서로 다른 5펌프 이상 측정하여 그 값의 평균 값을 실 운전 소비전력 계산에 반영한다.
OLV사는 실제 운전 소비 전력의 합계 금액이 TCO 에 명기된 192세트 분의 4년치 총 예측 추산 금액 ( 6.081.355.134 원 ) 보다 낮을 것을 보증한다. 만일 실측하여 계산한 총 금액보다 TCO에 명기된 추산 금액이 높을 경우엔, OLV 사는 먼저 단기간 내에 소비전력을 최적화 할 수 있는 방안을 제안 할 수 있다. 그럼에도 초과 비용 분에 대해서, 초과금액 4년치 금액을 계산하여 LGD 사에 배상한다.
Water supply and purge gas supply ( 냉각수 및 퍼지 )
냉각수 및 퍼지에 사용되는 비용에 대한 추산 금액은, 하기 표와 같이 TCO sheet에 적용되어 있다. 이 추산 산출 당시에는 상세 공정 정보가 반영되어 있지는 않았다. 일반적으로 PECVD 공정에선 높은 유량의 H2를 사용할 확률이 있기 때문에 추가적인N2 퍼지가 필요 할 것으로 예상된다.
TCO 제출 당시 PECVD 공정의 상세 정보는 OLV에 통보되지 않았음으로 이 부분을 현재까지 산출 내용에 반영하지 못하였다.
기 납품되는 192 세트의 4년간 진공 펌프 운영에 발생하는 비용은 하기 테이블 추산 금액보다 낮아야하며, 소비전력, 냉각수, 퍼지 등에 대한 산출 근거는 LGD와 협의한 내용을 바탕으로 한다.
Energy: 86,5 KRW/kWh
Water PCW: 62,9 KRW/Ton
N2: 49,2 KRW/m3
CDA: 12,2 KRW/m3 |
엘지디스플레이 사양서 번역(독일어 번역본)Definition des Funktionstestes für Oerlikon Leybold Vakuum Pumpsystem für LG Display AMOLED M2 Projekt
Zielsetzung
LG Display(i. F. LGD) definiert die Inhalte des Funktionstestes (A/T) der Vakuumpumpe von 올리콘 라이볼트 베큠사(i. F. OLV), die der “M2-Line” auszuhändigen ist. A/T Test wird unter Vereinbarung und Einigung der beiden Unternehmen erfolgen und überprüft die Kosten des Gerät-Betriebs der Vakuumpumpe, welche in LGD M2-Line installiert wird. Dies erfolgt zur Überprüfung der Einstimmigkeit der angegebenen Schätzkosten seitens der OLV and LGD im TCO-Dokument.
Dieser A/T Test wird 3 Monate nach dem Beginn der Serienproduktion zum ersten Mal durchgeführt und wie von beiden Seiten vereinbart, in 6 Monaten-Takt bis zum zweiten Jahr durchgeführt. Dieser Test wird von LGD und OLV gemeinsam durchgeführt. LGD benachrichtigt vor dem vereinbarten Termin OLV und stellen unter beidseitiger Zusammenarbeit die für den Test notwendigen Ingenieur, Messgerät und Termin.
Beide Unternehmen LGD und OLV einigen sich, dass die in TCO angegebene Schätzungskosten der Vakuumpumpe(insgesamt 192 Sets), die der “M2-Line” auszuhändigen vorgesehen ist, weniger zu betragen hat als die Realkosten.
Die in TCO aufgelistete Betriebskosten sind Stromverbrauch, Wasserverbrauchskosten, N2 & CDA Spülungskosten.
Die gesamte Menge 192 der jeweils unterschiedlichen Pumpen-Sets ist wie folgt unterteilt:
80 Sets von RUTA WHU2500/DV650S
24 Sets von RUTA WSU2001H/DV650S
58 Sets von RUTA WH702/DV450S
30 Sets von WH4400/DV650C (PECVD)
Allgemeine technische Anforderungen
Vor dem Test sollten die unten aufgeführten Betriebsbedingungen sichergestellt werden.
Stromversorgung 440 V 3P,
Messung der aktiv verbrauchten Strom mithilfe der Leistungsmesser
Auspuffdruck < 1001 mbar
Die Pumpe muss mindestens drei Stunden lang aufgewärmt sein bevor der Test beginnt.
Frequenz-Umformerstation benötigende WH702 sind bei 60Hz zu bedienen.
Jede Pumpen-Set sollte unter realen Bedingungen eine Stunde lang gemessen werden.
Funktionstest und Korelation zum Schätzungsmodell
PECVD Pumpen-Sets:
Von den in TCO aufgelisteten Produkten der OLV ist WH4400/DV650c das in PECVD-Inbetriebnahme hauptsächlich benutzte Modell. Das in TCO angegebene zu messende Element während der PECVD-Inbetriebnahme ist der Pumpeneinlassdruck, welcher 0,8 torr beträgt. Die Messung erfolgt bei gleichem Einlassdruck, diese wird betrachtet als die während der Inbetriebnahme benutzte Pumpe und das Messergebnis wird mit dem TCO Schätzungkosten verglichen.
“Load Lock” Pumpen-Sets:
Im Falle der während des “Load Lock” –Prozesses benutzten Pumpe sind zwei Messelemente im TCO angegeben. Der Spitzenwert des Energieverbrauches bei der erstmaligen Benutzung und der Wert, wenn der Pumpeneinlassdruck 40mtorr beträgt, werden gemessen, mit den jeweiligen Verhältnis der Inbetriebnahme (20%, 80%) verrechnet und ein Schätzungskosten gebildet.
Vor der Messung während des A/T Testes wird der kumulierte Stromverbrauch wie in der unten stehende Abbildung überprüft. Diese Messung wird mindestens bei 5 unterschiedlichen Pumpen gemessen und dessen Mittelwert wird zur Berechnung der Betribeskosten verwendet.
Unternehmen OLV versichert, dass die Summe der realen Verbrauchskosten der 192 Sets für vier Jahren weniger betragen wird, als die in TCO angegebene Summe (6.081.355.134 KWR). Falls die reale Verbrauchskosten höher beträgt, kann Unternehmen OLV zunächst einen Vorschlag zur Einsparung der Verbrauchskosten machen. Dennoch ist OLV verpflichtet, die überschrittene Verbrauchskosten für die vier Jahre an LGD zu entschädigen.
Wasserverbrauch und Spülungsgasverbrauch
Die für das Wasser und Spülung anfallende Kosten sind wie unten stehende Tabelle im TCO Dokument angegeben. Zum Zeitpunkt dieser Berechnung waren genaue Bedingungen der Inbetriebnahme unbekannt. Da im Allgemeinen Der H2 Verbrauch von PECVD bei Inbetriebnahme hoch sein kann, werden vermutlich zusätzliche N2 Purge benötigt.
Da zum Zeitpunkt der Abgabe von TCO keine genaue Bedingungen der Inbetriebnahme von PECVD an OLV übermittelt worden sind, ist dieser Teil nicht in der Schätzungskosten einberechnent worden.
Die entstehende Kosten der auszuhändigenden 192 Sets von Vakuumpumpe in vier Jahren muss niedriger sein als die in der unteren Tabelle angegebenen Kosten und bezüglich des Energie-, Wasser- und Spülungsverbrauchkostens wird berechnet wie mit LGD vereinbart.
Energie: 86,5 KRW/kWh
Wasser PCW: 62,9 KRW/Ton
N2: 49,2 KRW/m3
CDA: 12,2 KRW/m3 |
